西森扩散硅压力变送器技术特点

    西森BST6600系列扩散硅压力变送器，广泛应用于工业自动化设备、石油、化工、冶金、电力等控制领域，它是利用压阻效应原理，采用集成工艺技术经过掺杂、扩散，制成应变电阻、构成惠斯通电桥，利用硅材料的弹性力学特性，在同一切硅材料上进行各向异性微加工，就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。那么它在实际应用中有哪些技术特点呢？

    1、精度高扩散硅压力传感器的感受、敏感转换和检测三位一体，无机械动件连接转换环节，所以不重复性和迟滞误差很小。因此综合表态精度很高。

    2、可靠性高扩散硅敏感膜片的弹性形变量在微应变数量级，膜片最大位移量在来微米数量级，且无机械磨损，无疲劳，无老化。平均无故障时间长，性能稳定，可靠性高。

    3、灵敏度高扩散硅敏感电阻的灵敏因子比金属应变片高50~80倍，它的满量程信号输出在80-100mv左右。对接囗电路适配性好，应用成本相应较低。由于它输入激励电压低，输出信号大，且无机械动件损耗，因而分辩率极高。

    4、频响高由于敏感膜片硅材料的本身固有频率高，一般在50KC。制造过程采用了集成工艺，膜片的有效面积可以很小，配以刚性结构前置安装特殊设计，使传感器频率响应很高，使用带宽可达零频至100千赫兹。

    5、度性能好随着集成工艺技术进步，扩散硅敏感膜的四个电阻一致性得到进一步提高，原始的手工补偿已被激光调阻、计算机自动休整技术所替代，传感器的零位和灵敏度温度系数已达10-5/℃数量级，工作温度也大幅度提高。

    6、扩散硅压力变送器的抗电击穿性能好由于采用了特殊材料和装配工艺，扩散硅传感器不但可以做到130℃正常使用，在强磁场、高电压击穿试验中可抗击1500V/AC电压的冲击压力变送器。

    7、耐腐蚀性好由于扩散硅材料本身优良的化学防腐性能好，即使传感器受压面不隔离，出能在普通使用中适应各种介质。硅材料又与硅油有良好的兼容性，使它在采用防腐材料隔

    BST6600系列压力变送器，采用金属扩散硅传感器，金属的延展性、精度及各方面的综合指标是很多其他类型传感器无可比拟的。传感器选用美国GE集团NOVA公司进口压力传感器或者MICROSENSOR公司合资压力传感器，产品由高精度传感器和高集成化电子线路及不锈钢外壳组成。广泛应用于空调设备、恒压供水、自动化控制、空压机、制冷设备、水处理系统、液压系统、工程机械、发酵罐过程检测等。