西森浅析单晶硅与扩散硅两种压力传感器

西森9年口碑,专业解决10万客户测量方案 | [在线咨询]    2015-07-10 08:55:16
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【文章导读】 通过阅读《中华人民共和国计量检测规程-压力变送器》以及其引用文献.下面,西森根据单晶硅电阻传感器的工作原理和特点,为大家简单介绍单晶硅和扩散硅压力传感器的差别.

    通过仔细阅读《中华人民共和国计量检测规程-压力变送器》以及其引用文献。比较西森和honeywell,罗斯蒙特,横河的产品说明书,并根据国外先进技术的说明书初步制定BST9900压力变送器的检测要求。


    下面,西森根据单晶硅电阻传感器的工作原理和特点,为大家简单介绍单晶硅和扩散硅压力传感器的差别。


西森单晶硅压力变送器


单晶硅压力传感器的原理


    单晶硅基于 MEMS(微 机电)技术的压力传感器,它是建立在微米/纳米基础上,在单晶硅片上刻融制作惠斯登电桥(Wheatstone bridge)组成的硅应变计,经500℃以上高温熔化玻璃,将硅应变片烧结在17-4PH不锈钢传感弹性体上,弹性体受压变形后产生电信号,由带微处理 器的数字补偿放大电路进行放大,经数字软件进行全智能温度补偿,输出标准信号。在标准净化生产过程中,参数严格受控,避免了温度、湿度及机械疲劳的影响, 具有频响高、工作温度宽等特点,保证了传感器在工业恶劣环境中使用的长期稳定性。


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扩散硅压力传感器原理


    被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。

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工程师感言

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